電子光科学領域・エレクトロニクスコース

固体電子工学講座 金島准教授グループ

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メンバー

准教授 金島岳
M1 古荘久人
B4 東飛祐
B4 三宅諒也

About

エピタキシャル成長技術を用い、高性能次世代ゲルマニウムトランジスタの研究開発を行っています

研究テーマ

主要実験装置

PLD装置(高真空チャンバ、ArFエキシマレーザ (193 nm))
電気特性評価装置
半導体パラメータアナライザ
C-Vプロッタ
フォトリソグラフィー装置
抵抗加熱蒸着、RFスパッタなど各種製膜装置
メンバー

研究成果

アクセス

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